金融界2025年1月31日消息，国家知识产权局信息显示，浚辅科技股份有限公司申请一项名为“具震动侦测及影像辨识的机械手臂”的专利，公开号CN119381309A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本发明为有关一种具震动侦测及影像辨识的机械手臂，主要结构包括一晶圆搬运装置、一枢设于晶圆搬运装置上的机械手臂、一设于机械手臂上的影像撷取装置、至少一设于机械手臂上的第一震动传感器、一设于晶圆搬运装置内的第二震动传感器、及一设于晶圆搬运装置一侧的监控装置，且监控装置包含有一资讯连结影像撷取装置的状态检测部、及一资讯连结第一震动传感器与第二震动传感器的震动检测部。藉上述结构，使机械手臂兼具晶圆储存状态检测、碰撞感测、及寿命预测等功能，而避免机械结构动作不稳与检测误差的因素相互影响，进而提升移动及判断精准度。
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